在半導體芯片中，PM（Preventive Maintenance）是設備維護管理的重要組成部分，尤其是在半導體外延爐等主要設備方面具有主體作用：
1.界定與目地
PM（Preventive Maintenance）是指通過定期維護日常保養機器設備，防止潛在故障或功能失效，保證生產流水線高效運行。其主要目標是增加設備使用年限、降低突發故障、提高生產效率。
2.在半導體外延爐中的運用
定期維護：對加熱裝置、機械泵、氣體管路等核心部件開展規律性檢驗，保證環境溫度精度和氣體純凈度。
清理和維護：清除爐腔內腔堆積物、拆換密封環等易耗配件，防止污染物質危害外延層品質。
主要參數校正：按時校正溫度感應器、氣壓表等儀表盤，保證工藝指標準確性。
3.實施周期和標準
依據機器設備使用次數和生產商提議，PM一般分為日常安全巡檢、一季度維護保養和年度維修三個等級。比如，外延性爐的PM方案將包括每月的常用清洗和每年一次的構件拆換。
大力實施PM，半導體企業能明顯減少因機械故障所導致的生產制造終斷風險性，確保外延性加工工藝的穩定性和商品合格率。